激光干涉儀機床校準設備的詳細資料：

機床校準設備

激光器的出現(xiàn)，使古老的干涉技術得到迅速發(fā)展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點，激光干涉測量技術已經(jīng)比較成熟。激光干涉測量系統(tǒng)應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機械的控制、校正；大規(guī)模集成電路設備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng)；微小尺寸的測量等。 
在大多數(shù)激光干涉測長系統(tǒng)中，都采用了邁克爾遜干涉儀或類似的光路結構。
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